astigmatic focus error detection
- astigmatic focus error detection
метод неконтактного вимірювання зсуву уздовж оптичної осі за допомогою визначення спотворення точкового зображення проектованого ас-тигматичною оптичною системою
English-Ukrainian dictionary of microelectronics.
2013.
Смотреть что такое "astigmatic focus error detection" в других словарях:
Laser beam profiler — A laser beam profiler captures, displays, and records the spatial intensity profile of a laser beam at a particular plane transverse to the beam propagation path. Since there are many types of lasers ultraviolet, visible, infrared, continuous… … Wikipedia